近日，包头稀土研究院稀土功能材料研究所表面防护课题组科研人员赴北京实力源科技开发有限责任公司（简称实力源）就烧结NdFeB磁体表面涂层的制备工艺开展技术交流与合作。
　　实力源安金乾经理逐一介绍了该公司目前生产和开发的各类PVD设备及其主要功能，重点对公司目前开发的磁钢专用镀膜设备进行了详细说明。课题组与实力源双方分析了当前真空镀膜技术的发展现状与趋势，探讨了真空镀膜技术在磁性材料产业方面应用的重点发展方向及市场拓展目标。
　　课题组科研人员与实力源真空镀膜研发团队共同就烧结NdFeB永磁的PVD真空镀膜工艺进行了研究。双方在烧结NdFeB永磁镀膜前表面清洗、装夹，炉体衬板喷砂、工件架设置、靶材的布置、真空系统、电源与气体控制系、统膜层检测等细节方面进行了深入的技术交流。同时，合作双方通过工艺参数的调整，分别用多弧、磁控溅射等方法在磁体表面制备了Tb、Al、TiN、 AlTiN等8种涂层。此外，课题组科研人员通过与实力源技术人员多次交流，确定了在定制真空镀膜设备中进行贵金属镀膜实验的实施方案。采用该方案可在不改动设备的情况下，大幅减少实验中贵金属靶材成本，对于真空镀膜设备的高效利用具有重要意义。
　　此次技术合作，促进课题组材料研究人员与设备制造及设计人员之间的技术交流，为磁体表面防护课题提供了新的研究思路和方法。（王誉）